等角定位格网检测

检测项目

1. 角度偏差检测：测量相邻网格线夹角误差范围±0.01°~±0.05°，采用激光干涉法

2. 线宽一致性检测：线宽公差控制±1μm~±5μm（视材料等级），白光共焦显微测量

3. 平面度误差检测：全平面平整度≤0.02mm/m²（按GB/T 11337-2004 B级标准）

4. 材料热膨胀系数测定：温度循环范围-55℃~+125℃，记录ΔL/L0变化量

5. 抗化学腐蚀测试：浸泡72小时（按ISO 9227中性盐雾试验）后观察表面形貌

检测范围

1. 金属合金定位格网：钛合金TC4/TA15系列、铝合金6061-T6/7075-T651

2. 复合材料格栅板：碳纤维/环氧树脂（CFRP）、芳纶蜂窝夹层结构

3. 陶瓷基精密格网：氧化铝(Al₂O₃)含量≥99%、氮化硅(Si₃N₄)烧结体

4. 高分子薄膜网格：聚酰亚胺(PI)薄膜厚度50-200μm规格产品

5. 光学玻璃基准板：K9光学玻璃、熔融石英（JGS1/JGS2级）制品

检测方法

ASTM E284-17《Standard Terminology for Appearance Analysis》表面质量评价体系

ISO 10360-7:2011《坐标测量机验收与复检规范》几何量计量标准

GB/T 1800.1-2020《产品几何技术规范(GPS)线性尺寸公差》基础级要求

ISO 10110-5:2015《光学元件表面缺陷公差》划痕-麻点分级系统

GB/T 4340.1-2009《金属维氏硬度试验方法》材料力学性能测试规程

检测设备

1. Hexagon Global S 07.10.07三坐标测量机：空间测量精度(1.9+L/250)μm

2. Zygo Verifire MST激光干涉仪：波长稳定性±0.05ppm，分辨率0.1nm

3. Mitutoyo CMM-C7006影像测量系统：双远心镜头，重复精度±0.8μm

4. Instron 5985万能材料试验机：载荷范围0.02N~150kN，温度控制±0.5℃

5. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度50μm/s

6. Renishaw XL-80激光跟踪仪：最大测距80m，角度精度±15μm+6μm/m

7. KEYENCE VHX-7000数字显微镜：5000万像素CMOS，20-6000倍连续变焦

8. Thermo Scientific ARL EQUINOX 1000 X射线衍射仪：θ/θ测角仪精度±0.0001°

9. Mahr Federal Millimar 1320电感测微仪：分辨率0.01μm，量程±500μm

10. Espec PL-3KPH温度冲击箱：转换时间≤15s（-70℃↔+180℃）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.